2025-11
05質(zhì)量流量控制器應(yīng)該先通氣還是先設(shè)流量?
用戶問(wèn)題:使用MFC時(shí)反應(yīng)有超調(diào)過(guò)沖現(xiàn)象
剛通氣時(shí)流量會(huì)瞬間達(dá)到可測(cè)量的最大值并顯示告警信息,然后又迅速穩(wěn)定到設(shè)定值,客戶覺(jué)得易度MFC有很嚴(yán)重的超調(diào)過(guò)沖問(wèn)題。 經(jīng)過(guò)與客戶詳細(xì)交流后發(fā)現(xiàn),客戶先將MFC設(shè)定流量,再開(kāi)啟截止閥給管路通氣。MFC在使用過(guò)程中到底應(yīng)該先通氣還是先設(shè)流量呢?
常見(jiàn)MFC連接方式

工作原理
MFC通過(guò)流量測(cè)量部分測(cè)量氣體流量,并根據(jù)測(cè)量值發(fā)出反饋信號(hào)調(diào)節(jié)閥門(mén)開(kāi)口大小,達(dá)到控制流量的目的。當(dāng)測(cè)量的流量小于設(shè)定流量時(shí),就會(huì)增加閥門(mén)開(kāi)口度,讓氣體流量增加,反之亦然。

MFC工作示意簡(jiǎn)圖
了解了MFC工作原理,再來(lái)看客戶遇到的問(wèn)題就容易理解了
在不通氣的情況下,將MFC設(shè)定流量后,流量傳感器檢測(cè)流量為零,小于設(shè)定值,于是微處理器發(fā)出信號(hào)將閥門(mén)開(kāi)大,再檢測(cè)流量,發(fā)現(xiàn)流量仍然是零,仍然小于設(shè)定值。微處理器只能繼續(xù)發(fā)出控制信號(hào)直到將閥門(mén)開(kāi)到最大并保持這個(gè)狀態(tài)。
這時(shí)打開(kāi)截止閥,氣體瞬間開(kāi)始流動(dòng)起來(lái),而此時(shí)閥門(mén)開(kāi)到了最大,氣體就會(huì)以一個(gè)很大的流量值流過(guò)MFC。MFC檢測(cè)到流量超過(guò)了設(shè)定值,于是控制閥門(mén)開(kāi)口度減小,將實(shí)際流量穩(wěn)定在設(shè)定值。這就是先設(shè)流量再通氣時(shí)MFC的實(shí)際工作過(guò)程。
答案結(jié)論
這并不是MFC本身的問(wèn)題,而是在使用MFC時(shí)的操作順序問(wèn)題。正確的操作順序是先通氣,再設(shè)流量。